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離子研磨儀的工作原理是什么

文章來(lái)源:杰星科技 人氣: 發(fā)表時(shí)間:2022-03-17

       離子研磨儀是一種用于材料科學(xué)領(lǐng)域的儀器。

    離子研磨法是利用通過(guò)電場(chǎng)加速過(guò)的離子轟擊樣品表面,在樣品表面產(chǎn)生濺射效應(yīng) ,由此制備尺度為毫米級(jí)別的平滑表面的研磨方法。氬氣屬于惰性氣體,基本不會(huì)和樣品發(fā)生化學(xué)反應(yīng),因此通常我們采用Ar作為離子源轟擊樣品。

  由于機(jī)械加工導(dǎo)致的樣品表層邊緣遭到破壞且所積累的殘余應(yīng)力無(wú)法得到釋放,最終造成無(wú)法獲得樣品表層納米梯度強(qiáng)化層真實(shí)精準(zhǔn)的原位力學(xué)性能。 離子研磨系統(tǒng)可以無(wú)應(yīng)力的去除樣品表面層,加工出光滑的鏡面。兼容平面和截面兩種加工方式,為相關(guān)檢測(cè)的樣品制備提供了最為有效的解決方案。

 

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